Томашевський О.В., Погосов В.В.
Про критерії ефективності управління якістю інтегрованих мікросхем на етапі виробництва
|
УДК: 658.562.012.1
Автори: Томашевський О.В., Погосов В.В.
Джерело:
Радіоелектроніка. Інформатика. Управління
Номер журнала: № 1
Рік видання: 2009
Мова:
Українська
Вид документа:
Стаття періодики
| Анотація: |
На етапі виробництва якість інтегрованих мікросхем багато в чому визначається стабільністю технологічних процесів. Для дослідження ефективності виявлення розлагодження технологічних процесів запропоновано використовувати теорію випадкового блукання броунівської частинки. Отримано інтегральні рівняння Фредгольма 2-го роду для оцінки середніх довжин серій вибірок налагодженого чи розлагодженого процесів й імовірності першого виходу траєкторій за нижню межу. |
| Ключові слова: |
мікросхеми, микросхемы |
|
|
Файл документа доступний читачам бібліотеки: увійдіть або зареєструйтесь.
|
Copyright © 2008 - 2026, Електронна бібліотека НУ "Запорізька політехніка", All rights reserved