Технологические особенности изготовления контактных систем к полупроводниковым структурам — Електронна бібліотека НУ «Запорізька політехніка»

•

[На рівень вище] [Головна] [Результати пошуку]

Никонова А.А., Левинзон Д.И., Небеснюк О.Ю.
Технологические особенности изготовления контактных систем к полупроводниковым структурам

УДК: 621.38
Автори: Никонова А.А., Левинзон Д.И., Небеснюк О.Ю.
Джерело: Радіоелектроніка. Інформатика. Управління
Номер журнала: № 1
Рік видання: 2007
Мова: Російська
Вид документа: Стаття періодики

Анотація:

Разработана многослойная система металлизации, состоящая из слоя силицида, барьерного слоя и низкоомного верхнего контактного слоя для устранения взаимодействия с нижележащим слоем кремния в контактных «окнах».

Ключові слова:

кремній, кремний, напівпровідники, полупроводники, алюміній, алюминий, металізація, металлизация

Файл документа доступний читачам бібліотеки: увійдіть або зареєструйтесь.