Рассмотрены выявленные экспериментальным путем закономерности поведения напыляемых наноструктурных пленок на основе тугоплавких титановых композиций, применяемых в авиационно-космической технике. Установлены гомогенный и негомогенный механизмы деформации, имеющие локальную природу смещения отдельных столбчатых и игольчатых кристаллических элементов структуры вследствие сильной энергии связи между зернами, торцы которых образуют островки. Природа этих островков связана с механизмом роста наноструктурныхпленок на поверхности подложки по Фольмеру-Веберу, ростом и коалесценцией, приводящими к образованию межзеренных впадин вследствие эффекта экранирования. Это новый класс материалов, обладающих высокой твердостью, упругостью и упругим восстановлением, которые можно менять целенаправленно.