Запорізьк. нац. техн. ун-т. Каф. мікро- та наноелектроніки
Методичні вказівки до практичних занять з дисципліни "Технологія виробництва напівпровідникових матеріалів" для студентів спеціальності 6.050801 "Мікро- та наноелектроніка" денної та заочної форм навчання
|
УДК: 621.315.592.002(076)+621.315.61.002(076)
Авторський знак: З-33
Автори: Запорізьк. нац. техн. ун-т. Каф. мікро- та наноелектроніки
Рік видання: 2011
Видавництво:
ЗНТУ / Запоріжжя
Мова:
Українська
Обсяг: 50 с.
Вид документа:
Методичні вказівки
Кафедра:
Кафедра мікро- та наноелектроніки
Дисципліни:
Технологія виробництва напівпровідникових матеріалів
Викладачі:
Сніжной Генадій Валентинович, Коротун Андрій Віталійович
| Ключові слова: |
напівпровідникові матеріали та вироби, полупроводниковые материалы и изделия |
|
|
Файл документа доступний читачам бібліотеки: увійдіть або зареєструйтесь.
|