Вплив атомарного водню на структури метал-напівпровідник. адгезія тонких металевих плівок — Електронна бібліотека НУ «Запорізька політехніка»

•

[На рівень вище] [Головна] [Результати пошуку]

Жавжаров Є. Л., Матюшин В. М.
Вплив атомарного водню на структури метал-напівпровідник. адгезія тонких металевих плівок

УДК: 621.3.049
Автори: Жавжаров Є. Л., Матюшин В. М.
Джерело: Радіоелектроніка. Інформатика. Управління
Номер журнала: № 2
Рік видання: 2010
Мова: Українська
Вид документа: Стаття періодики

Анотація:

Досліджено вплив атомарного водню на зміну властивостей тонкоплівкових структур Cu-Si. Структури на основі тонких (20–500 нм) плівок міді піддавалися дії атомарного водню при
концентраціях 1014–1019 м–3. Показано, що при такій взаємодії відбувається низькотемпературне відновлення оксиду міді, підвищуються адгезія та когезія плівок міді до підкладинок Si.

Ключові слова:

тонкі плівки, напівпровідник, кремній, атомарний водень, рекомбінація, адгезія, дифузія

Файл документа доступний читачам бібліотеки: увійдіть або зареєструйтесь.