Вплив атомарного водню на структури метал-напівпровідник. вольт-амперні характеристики — Електронна бібліотека НУ «Запорізька політехніка»

•

[На рівень вище] [Головна] [Результати пошуку]

Матюшин В. М., Жавжаров Є. Л.
Вплив атомарного водню на структури метал-напівпровідник. вольт-амперні характеристики

УДК: 621.3.049
Автори: Матюшин В. М., Жавжаров Є. Л.
Джерело: Радіоелектроніка. Інформатика. Управління
Номер журнала: № 2
Рік видання: 2010
Мова: Українська
Вид документа: Стаття періодики

Анотація:

Представлено результати експериментального дослідження дії атомарного водню на гете-
роструктури на основі Si та Ge. Показано, що обробка супроводжується змінами ВАХ.
Домінуючими процесами є хемосорбція водню на поверхні, модифікація гетеромежі та ди-
фузія атомів плівки у приповерхневі шари напівпровідника.

Ключові слова:

тонкі плівки, напівпровідник, кремній, атомарний водень, рекомбінація, адгезія, дифузіяі

Файл документа доступний читачам бібліотеки: увійдіть або зареєструйтесь.