Компьютерное моделирование образования первичных ростовых микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния — Електронна бібліотека НУ «Запорізька політехніка»

•

[На рівень вище] [Головна] [Результати пошуку]

Таланин В. И., Таланин И. Е., Семикина М. Ю.
Компьютерное моделирование образования первичных ростовых микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния

УДК: 621.315.592
Автори: Таланин В. И., Таланин И. Е., Семикина М. Ю.
Джерело: Радіоелектроніка. Інформатика. Управління
Номер журнала: № 2
Рік видання: 2010
Мова: Російська
Вид документа: Стаття періодики

Анотація:

Представлена математическая модель и компьютерная программа расчета для процесса образования первичных ростовых микродефектов в бездислокационном монокристалле кремния на основе диссоциативного процесса диффузии.

Ключові слова:

ростовые микродефекты, бездислокационный монокристалл кремния, первичные ростовые дефекты, гетерогенный механизм дефектообразования

Файл документа доступний читачам бібліотеки: увійдіть або зареєструйтесь.