Исследование особенностей дефектообразования в высоколегированном кремнии при облучении — Електронна бібліотека НУ «Запорізька політехніка»

•

[На рівень вище] [Головна] [Результати пошуку]

Никонов А. Ю., Небеснюк О. Ю., Шмалий С. Л., Никонова З. А.
Исследование особенностей дефектообразования в высоколегированном кремнии при облучении

УДК: 534.222.2
Автори: Никонов А. Ю., Небеснюк О. Ю., Шмалий С. Л., Никонова З. А.
Джерело: Радіоелектроніка. Інформатика. Управління
Номер журнала: № 1
Рік видання: 2012
Мова: Російська
Вид документа: Стаття періодики

Анотація:

В статье приведены результаты экспериментального исследования механизмов взаимодействия высокоэнергетического излучения с кремнием.

Ключові слова:

излучение, легирующие примеси, концентрация, випромінювання, легуючі домішки, концентрація

Файл документа доступний читачам бібліотеки: увійдіть або зареєструйтесь.