Запорізьк. нац. техн. ун-т. Каф. мікро- та наноелектроніки
Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни "Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки" для студентів спеціальності 6.050801 "Мікро- та наноелектроніка" денної й заочної форм навчання
|
УДК: 539.216(076)
Авторський знак: З-33
Автори: Запорізьк. нац. техн. ун-т. Каф. мікро- та наноелектроніки
Рік видання: 2014
Видавництво:
ЗНТУ / Запоріжжя
Мова:
Українська
Обсяг: 54 с.
Вид документа:
Методичні вказівки
Кафедра:
Кафедра мікро- та наноелектроніки
Дисципліни:
Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки
Викладачі:
Жавжаров Євген Леонідович, Коротун Андрій Віталійович, Смирнова Ніна Анатоліївна
| Ключові слова: |
тонкі плівки, тонкие пленки |
|
|
Файл документа доступний читачам бібліотеки: увійдіть або зареєструйтесь.
|