“Запорізька політехніка” нац. ун-т. Каф. мікро- та наноелектроніки
Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни “Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки” для студентів спеціальності 153 “Мікро- та наносистемна техніка”, освітня програма “Мікро- та наноелектронні прилади та пристрої” денної й заочної форм навчання
|
УДК: 539.216(076)
Авторський знак: З-33
Автори: “Запорізька політехніка” нац. ун-т. Каф. мікро- та наноелектроніки
Рік видання: 2020
Видавництво:
Нац. ун-т “Запорізька політехніка” / Запоріжжя
Мова:
Українська
Обсяг: 54 с.
Вид документа:
Методичні вказівки
Кафедра:
Кафедра мікро- та наноелектроніки
Дисципліни:
Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки
Викладачі:
Матюшин Володимир Михайлович, Коротун Андрій Віталійович, Смирнова Ніна Анатоліївна
| Ключові слова: |
тонкі плівки, тонкие пленки, методичні посібники, методические пособия, лабораторні роботи, лабораторные работы |
|
|
Файл документа доступний читачам бібліотеки: увійдіть або зареєструйтесь.
|