Дослідження процесів впливу автомарного водню на електричну міцність кремнієвих p - n - переходів на межу розподілу кре… — Електронна бібліотека НУ «Запорізька політехніка»

•

Кошман А.Р.
Дослідження процесів впливу автомарного водню на електричну міцність кремнієвих p - n - переходів на межу розподілу кремній - диоксид кремнію
Автореф. дис. ... канд. техн. наук

УДК: 621.315.592:53
Авторський знак: К76
Автори: Кошман А.Р.
Рік видання: 1998
Видавництво: ЗДУ / Запоріжжя
Мова: Українська
Обсяг: 20с.
Вид документа: Автореферат дисертації

Науковий напрямок: ТЕХНІЧНІ НАУКИ

Ключові слова:

міцність, прочность, кремній, кремний, водень, водород, дифузія, диффузия

Файл документа доступний читачам бібліотеки: увійдіть або зареєструйтесь.