Городилов А. А.
Разработка и исследование кассет для процессов вплавления в полупроводниковом производстве
Автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.02.12 - Оборудование производства электронной техники
|
УДК: 621.382+621.315.592
Авторський знак: Г70
Автори: Городилов А. А.
Рік видання: 1972
Видавництво:
МИМЭ / М.
Мова:
Російська
Обсяг: 29с.
Вид документа:
Автореферат дисертації
Науковий напрямок:
ТЕХНІЧНІ НАУКИ
| Ключові слова: |
виплавка, выплавка, касети (тех.), кассеты (тех.) |
|
|
Файл документа доступний читачам бібліотеки: увійдіть або зареєструйтесь.
|
Copyright © 2008 - 2026, Електронна бібліотека НУ "Запорізька політехніка", All rights reserved